·成熟芯片代工廠難以承接小量創(chuàng)新產(chǎn)品產(chǎn)出，實(shí)驗(yàn)室無法工程化創(chuàng)新成果，比如生產(chǎn)所需的MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）外延爐設(shè)備一臺(tái)就要耗資上千萬元人民幣，一條光電子芯片產(chǎn)線造價(jià)數(shù)以億元計(jì)，這對(duì)于幾乎沒有營(yíng)收的初創(chuàng)企業(yè)來說是天文數(shù)字。

·陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)將解決第三代化合物半導(dǎo)體芯片制造的外延生長(zhǎng)與制程等關(guān)鍵問題，具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝，將為光子產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測(cè)等技術(shù)服務(wù)。

MOCVD設(shè)備。

3月30日，陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)在西安全面啟用，該平臺(tái)具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝，將為光子產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測(cè)等技術(shù)服務(wù)，為光子產(chǎn)業(yè)各類創(chuàng)新主體打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場(chǎng)化批量供貨的完整鏈條。

先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)占地30畝，建有中試車間、中試大樓、綜合樓和動(dòng)力站等研發(fā)和中試配套設(shè)施。一期專業(yè)設(shè)備100余臺(tái)（套），具備以GaAs（砷化鎵）、GaN（氮化鎵）為主線，圍繞6英寸化合物芯片工藝服務(wù)能力的柔性中試平臺(tái)，以技術(shù)服務(wù)與工程代工相結(jié)合的形式，為光子產(chǎn)業(yè)孵化項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測(cè)等技術(shù)服務(wù)。

同時(shí)，先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)將解決第三代化合物半導(dǎo)體芯片制造的外延生長(zhǎng)與制程等關(guān)鍵問題，為光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設(shè)計(jì)企業(yè)、高校、科研院所提供外延生長(zhǎng)、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等芯片制造服務(wù)。

技術(shù)人員正在清理MOCVD設(shè)備腔體。

成熟芯片代工廠難以承接小量創(chuàng)新產(chǎn)品產(chǎn)出，實(shí)驗(yàn)室無法工程化創(chuàng)新成果，比如生產(chǎn)所需的MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）外延爐設(shè)備一臺(tái)就要耗資上千萬元人民幣，一條光電子芯片產(chǎn)線造價(jià)數(shù)以億元計(jì)，這對(duì)于幾乎沒有營(yíng)收的初創(chuàng)企業(yè)來說是天文數(shù)字。

2015年10月，陜西省科技廳、西安高新技術(shù)開發(fā)區(qū)與中國(guó)科學(xué)院西安光機(jī)所聯(lián)合發(fā)起成立了陜西光電子先導(dǎo)院。陜西光電子先導(dǎo)院通過稀缺平臺(tái)資源和專業(yè)技術(shù)服務(wù)，實(shí)現(xiàn)工程化銜接。

目前，陜西光電子先導(dǎo)院已培育和聚集了近百家光子產(chǎn)業(yè)企業(yè)。未來將立足光子制造、光子材料與芯片、光子傳感三大重點(diǎn)領(lǐng)域，引領(lǐng)光電行業(yè)發(fā)展。

涂膠顯影設(shè)備。

中國(guó)科學(xué)院西安分院院長(zhǎng)趙衛(wèi)表示：“希望陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件創(chuàng)新平臺(tái)啟用后，能夠吸引更多光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新要素匯聚陜西，攻關(guān)一批引領(lǐng)未來的關(guān)鍵核心技術(shù)，培育一批具有先發(fā)優(yōu)勢(shì)和全球競(jìng)爭(zhēng)力的光子產(chǎn)業(yè)冠軍企業(yè)，推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步向集群化、規(guī)模化發(fā)展。”